集成微系统技术的内涵为“微纳电子学+微纳光子学+MEMS/NEMS+架构+算法”五大技术与“传感+处理+通信+执行+能源”五大功能的深度融合，是“下一代技术革命”和“后摩尔定律时代”的主要技术解决途径，在小型化、集成化、智能化、频谱开发等领域具有重大应用价值。本分会场的报告主题主要包括集成微系统的原子与材料级建模与仿真、器件级建模与仿真、电路与系统级建模与仿真，以及多尺度建模与仿真等，报告形式包括邀请报告与口头报告。